toray东丽toc-650-平山贸易-toray东丽

toray酸素濃度計ms-500、lc-450a、lc-450d、lc-860

酸素濃度計

半導体?液晶?子部品関連用途

oxygen ---yzer for semiconductors, electronic components

ms-500、lc-450a、lc-450d、lc-860

酸素濃度計 ms-500

ms-500

大8ポイントを同時測定が可能

ppmレベルから100%の幅広い濃度表示が出来ます。

半導体造装置、真空装置等への搭載に適

センサは直挿式(真空用nwフランジ16/25/40)

---のセンサに特殊コーティングを施し、さらに耐久性を向上

ms-500 器仕様

測定原理ジルコニア濃淡池式

形状分---型（変換器：壁掛式、センサ：直挿式）

表示方式デジタル4桁表示(濃度表示)

測定レンジ0-1 / 10 / 100 / 1000ppm / 1 / 10 / 100vol%o2　10-20～10-0atm

自---レンジ

繰返性±0.5%fs以内 0-1%レンジ以上

±1%fs以内または±0.1ppmの大い方 0-1%レンジ未満

0-1ppm,atmレンジは濃度保範囲外

測数1～8

サンプルガス条件圧力10-3～200kpa（絶対圧）

流量0.5～5,000ml/minまたは0ml/min(自然拡散状態の測定)

湿度が周囲温度以下